Är precisionsgranit det bästa materialet för halvledarlitografikomponenter?

På grund av sin icke-magnetiska natur, höga styvhet och nästan noll värmeutvidgning är Precision Granite det viktigaste materialet för att säkerställa precision på nanometernivå inom litografi och metrologi.

Icke-magnetisk och kemisk stabilitet

I de högintensiva elektromagnetiska miljöerna vid halvledartillverkning,Granitkomponenterförhindrar störningar på grund av deras icke-magnetiska egenskaper. Dessutom är granit kemiskt inert och avger inte gaser eller producerar partiklar, vilket gör den perfekt för renrumsmiljöer av ISO klass 1.

Ultimat fysisk styvhet och krypmotstånd

Den svarta graniten med hög densitet som ZHHIMG valt ut erbjuder extrem hårdhet. Under långvariga belastningar uppvisar den praktiskt taget ingen fysisk krypning, vilket ger en permanent stabil grund för XY-borden och säkerställer konsekvent repeterbar positioneringsnoggrannhet under många års drift.

Naturlig fördel i termisk expansion

Halvledarprocesser är extremt känsliga för värme. Granits låga värmeutvidgningskoefficient kompenserar för värmen som genereras av precisionsmotorer. I kombination med vår högprecisionsbearbetning säkerställer detta att komponenterna bibehåller sin geometriska integritet vid varierande driftstemperaturer.

Materialprestandamatris

Vanliga frågor: Precisionsgranit

1. Varför välja "svart" granit? Den har högre densitet, lägre vattenabsorption och bättre stabilitet än grå granit.

2. Vilka precisionskvaliteter erbjuder ni? Vi tillverkar upp till DIN 876 Grade 000-standarder.

3. Vilken är den maximala storleken? ZHHIMG kan bearbeta enskilda bitar upp till 12 meter långa.

4. Hur underhåller jag granitkomponenter? Använd specialiserade pH-neutrala rengöringsmedel och undvik kontakt med sura ämnen.

5. Kan ni borra hål för insatser? Ja, vi erbjuder precisionsborrning och sekundärbindning för insatser i rostfritt stål.

6. Är den lämplig för vakuumanvändning? Absolut, naturlig granit avgasar inte i vakuumförhållanden.