Granitluftlagersystem används ofta iultraprecisionrörelseplattformar för halvledartillverkning, optisk justering och nanometerskalig metrologi.
Dessa system eliminerar mekanisk kontakt genom att använda en tunn tryckluftsfilm, vilket uppnår nästan friktionsfri rörelse.
Principen för luftlager
Luftlager fungerar genom att tryckluft införs mellan två ytor och bildar en 2–20 μm tjock luftfilm.
Detta eliminerar:
- Mekanisk friktion
- Bära
- Stick-slip-beteende
Systemet är beroende av fluidfilmsdynamik och stabilt laminärt flöde.
Granitens roll
Granit erbjuder:
- Strukturell stabilitet
- Termisk driftdämpning
- Vibrationsdämpning
Den fungerar som den mekaniska referensbasen för rörelsesystemet.
Systemkomponenter
- Granitbas
- Luftlagerbelägg
- Luftförsörjningssystem
- Precisionskodare
- Rörelsekontrollsystem
Prestandaegenskaper
Typisk prestanda inkluderar:
- Submikron positioneringsnoggrannhet
- Hög rakhet över långa förflyttningar
- Noll mekanisk motreaktion
Viktiga felkällor inkluderar lufttrycksinstabilitet, termisk drift och kodningsfel.
Applikationer
- Inspektion av halvledarskivor
- Litografisystem
- Optiska justeringsplattformar
- Avancerade mätmaskiner
Vanliga frågor
Slits luftlager ut?
Ingen mekanisk kontakt eliminerar slitage.
Varför använda granit?
För stabilitet och vibrationsdämpning.
Vad begränsar noggrannheten?
Luftstabilitet och termiska effekter.
Kan de bära tunga laster?
Ja, beroende på design.
Publiceringstid: 3 juli 2026