♦Aluminiumoxid(Al2O3)
De precisionskeramiska delarna som produceras av ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan vara gjorda av keramiska råmaterial med hög renhet, 92~97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid, >99,9% aluminiumoxid och CIP kall isostatisk pressning.Högtemperatursintring och precisionsbearbetning, dimensionsnoggrannhet på ± 0,001 mm, jämnhet upp till Ra0,1, användningstemperatur upp till 1600 grader.Olika färger av keramik kan tillverkas enligt kundernas krav, såsom: svart, vit, beige, mörkröd, etc. De precisionskeramiska delarna som produceras av vårt företag är resistenta mot hög temperatur, korrosion, slitage och isolering, och kan används under lång tid i hög temperatur, vakuum och korrosiv gasmiljö.
Används ofta i en mängd olika halvledarproduktionsutrustning: Ramar (keramiskt fäste), substrat (bas), arm/brygga (manipulator), mekaniska komponenter och keramiskt luftlager.
produktnamn | Hög renhet 99 aluminiumoxid keramiskt fyrkantigt rör / rör / stav | |||||
Index | Enhet | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Densitet | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Vatten absorption | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintrad temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hårdhet | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Böjstyrka (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tryckhållfasthet | Kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Långtidsarbetstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max.Arbetstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volymresistivitet | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Användning av aluminiumoxidkeramik med hög renhet:
1. Appliceras på halvledarutrustning: keramisk vakuumchuck, skärskiva, rengöringsskiva, keramisk CHUCK.
2. Waferöverföringsdelar: waferhanteringschuckar, waferskärskivor, waferrengöringsskivor, waferoptiska inspektionssugkoppar.
3. LED / LCD plattskärmsindustri: keramiskt munstycke, keramisk slipskiva, LIFT PIN, PIN-skena.
4. Optisk kommunikation, solenergiindustrin: keramiska rör, keramiska stavar, keramiska skrapor för screentryck för kretskort.
5. Värmebeständiga och elektriskt isolerande delar: keramiska lager.
För närvarande kan aluminiumoxidkeramik delas in i hög renhet och vanlig keramik.Keramikserien med hög renhet av aluminiumoxid hänvisar till det keramiska materialet som innehåller mer än 99,9 % Al2O3.På grund av sin sintringstemperatur på upp till 1650 - 1990°C och dess transmissionsvåglängd på 1 ~ 6μm, bearbetas den vanligtvis till smält glas istället för platinadegel: som kan användas som natriumrör på grund av dess ljustransmittans och korrosionsbeständighet mot alkalimetall.Inom elektronikindustrin kan det användas som högfrekvent isoleringsmaterial för IC-substrat.Beroende på olika innehåll av aluminiumoxid kan den vanliga aluminiumoxidkeramiska serien delas in i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik och 85 keramik.Ibland klassificeras även keramiken med 80% eller 75% aluminiumoxid som vanliga aluminiumoxidkeramiska serier.Bland dem används keramiskt material av 99 aluminiumoxid för att producera högtemperaturdegel, brandskyddande ugnsrör och speciella slitstarka material, såsom keramiska lager, keramiska tätningar och ventilplattor.95 aluminiumkeramik används främst som korrosionsbeständig slitstark del.85 keramik blandas ofta i vissa egenskaper, vilket förbättrar elektrisk prestanda och mekanisk styrka.Den kan använda molybden, niob, tantal och andra metalltätningar, och vissa används som elektriska vakuumanordningar.
Kvalitetsobjekt (representativt värde) | produktnamn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemisk sammansättning Lågt natrium Lätt sintringsprodukt | H2O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe203 | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO2 | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na2O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al203 | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Medium partikeldiameter (MT-3300, laseranalysmetod) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Kristallstorlek | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formningsdensitet** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringstäthet** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krymphastighet för sintringslinjen** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ingår inte i beräkningen av renheten av Al2O3.
* Inget avskalningspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperaturen är 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tillsätt 0,05 ~ 0,1% MgO, sintringsförmågan är utmärkt, så den är tillämpbar på aluminiumoxidkeramik med en renhet på mer än 99%.
AES-22S: Karaktäriserad av hög formningsdensitet och låg krympningshastighet för sintringslinjen, den är tillämpbar för släpformgjutning och andra storskaliga produkter med erforderlig dimensionsnoggrannhet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en högre formningsdensitet, tixotropi och en lägre viskositet än AES-22S.den förra är van vid keramik medan den senare används som vattenreducerare för brandskyddsmaterial och blir allt populärare.
♦Kiselkarbid (SiC) egenskaper
Generella egenskaper | Huvudkomponenternas renhet (vikt%) | 97 | |
Färg | Svart | ||
Densitet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vatten absorption (%) | 0 | ||
Mekaniska egenskaper | Böjhållfasthet (MPa) | 400 | |
Ung modul (GPa) | 400 | ||
Vickers hårdhet (GPa) | 20 | ||
Termiska egenskaper | Maximal drifttemperatur (°C) | 1600 | |
Termisk expansionskoefficient | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Värmeledningsförmåga (W/m x K) | 130 110 | ||
Termisk stötbeständighet ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriska egenskaper | Volymresistivitet | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk förlust (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk genombrottsspänning (KV/mm) | - |
♦ Kiselnitridkeramik
Material | Enhet | Si3N4 |
Sintringsmetod | - | Gastrycksintrad |
Densitet | g/cm³ | 3.22 |
Färg | - | Mörkgrå |
Vattenabsorptionshastighet | % | 0 |
Ung modul | Gpa | 290 |
Vickers hårdhet | Gpa | 18 - 20 |
Tryckhållfasthet | Mpa | 2200 |
Böjstyrka | Mpa | 650 |
Värmeledningsförmåga | W/mK | 25 |
Termisk stötbeständighet | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maximal drifttemperatur | °C | 1200 |
Volymresistivitet | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrka | kV/mm | 16 |