Material – Keramik

♦Aluminiumoxid (Al₂O3)

De precisionskeramiska delarna som produceras av ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan tillverkas av högrena keramiska råmaterial, 92~97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid, >99,9% aluminiumoxid, och CIP-kallisostatisk pressning. Högtemperatursintring och precisionsbearbetning, dimensionsnoggrannhet på ± 0,001 mm, jämnhet upp till Ra0,1, användningstemperatur upp till 1600 grader. Olika färger på keramiken kan tillverkas enligt kundernas krav, såsom: svart, vit, beige, mörkröd, etc. De precisionskeramiska delarna som produceras av vårt företag är resistenta mot hög temperatur, korrosion, slitage och isolering, och kan användas under lång tid i högtemperatur-, vakuum- och korrosiva gasmiljöer.

Används i stor utsträckning i en mängd olika utrustningar för halvledarproduktion: Ramar (keramiska fästen), substrat (bas), arm/brygga (manipulator), mekaniska komponenter och keramiska luftlager.

Användning av högrena aluminiumoxidkeramik:
1. Tillämpad på halvledarutrustning: keramisk vakuumchuck, skärskiva, rengöringsskiva, keramisk CHUCK.
2. Delar för waferöverföring: chuckar för waferhantering, skärskivor för wafer, rengöringsskivor för wafer, sugkoppar för optisk inspektion av wafer.
3. LED/LCD-plattskärmsindustri: keramiskt munstycke, keramisk slipskiva, LIFT PIN, PIN-skena.
4. Optisk kommunikation, solindustrin: keramiska rör, keramiska stavar, kretskortsskrapor för screentryck.
5. Värmebeständiga och elektriskt isolerande delar: keramiska lager.
För närvarande kan aluminiumoxidkeramik delas in i högrenhet och vanlig keramik. Högrenhet i aluminiumoxidkeramikserien avser keramiskt material som innehåller mer än 99,9 % Al₂O₃. På grund av sintringstemperaturen på upp till 1650–1990 °C och transmissionsvåglängden på 1–6 μm bearbetas det vanligtvis till smält glas istället för platinadegel: vilket kan användas som natriumrör på grund av dess ljusgenomsläpplighet och korrosionsbeständighet mot alkalimetaller. Inom elektronikindustrin kan det användas som högfrekvent isoleringsmaterial för IC-substrat. Beroende på olika innehåll av aluminiumoxid kan den vanliga aluminiumoxidkeramikserien delas in i 99-keramik, 95-keramik, 90-keramik och 85-keramik. Ibland klassificeras även keramik med 80 % eller 75 % aluminiumoxid som vanlig aluminiumoxidkeramikserie. Bland dessa används 99 aluminiumoxidkeramik för att producera högtemperaturdeglar, brandsäkra ugnsrör och speciella slitstarka material, såsom keramiska lager, keramiska tätningar och ventilplattor. 95 aluminiumkeramik används huvudsakligen som korrosionsbeständig slitstark del. 85 keramik blandas ofta i vissa egenskaper, vilket förbättrar elektrisk prestanda och mekanisk hållfasthet. Det kan användas molybden, niob, tantal och andra metalltätningar, och vissa används som elektriska vakuumanordningar.

* MgO ingår inte i beräkningen av renheten för Al₂O₃.
* Inget skalningspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperaturen är 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Tillsätt 0,05 ~ 0,1 % MgO, sinterbarheten är utmärkt, så den är tillämplig på aluminiumoxidkeramik med en renhet på mer än 99 %.
AES-22S: Kännetecknas av hög formningsdensitet och låg krymphastighet i sintringslinjen, är den tillämplig på glidgjutning och andra storskaliga produkter med erforderlig dimensionsnoggrannhet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en högre formningsdensitet, tixotropi och en lägre viskositet än AES-22S. Den förra används för keramik medan den senare används som vattenreducerare för brandskyddande material och blir alltmer populärt.