♦ ALUMINA (AL2O3)
De precisionskeramiska delarna som produceras av Zhonghui Intellapent Manufacturing Group (Zhhimg) kan vara tillverkad av keramiska råvaror med hög renhet, 92 ~ 97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid,> 99,9% aluminiumoxid och CIP-kallisostatisk pressning. Sintring av hög temperatur och precisionsbearbetning, dimensionell noggrannhet på ± 0,001 mm, jämnhet upp till RA0.1, använd temperaturen upp till 1600 grader. Olika färger på keramik kan göras enligt kundernas krav, till exempel: svart, vit, beige, mörkröd, etc. De keramiska delarna som produceras av vårt företag är resistenta mot hög temperatur, korrosion, slitage och isolering och kan användas under lång tid i hög temperatur, vakuum och frätande gasmiljö.
Används i en mängd olika halvledarproduktionsutrustning: ramar (keramisk konsol), substrat (bas), arm/ bridge (manipulator), mekaniska komponenter och keramisk luftlager.
Produktnamn | Hög renhet 99 Alumina keramiskt fyrkantigt rör / rör / stång | |||||
Index | Enhet | 85 % AL2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Densitet | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vattenabsorption | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintrad temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hårdhet | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Böjningsstyrka (20 ℃))) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tryckstyrka | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Lång tid arbetstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Arbetstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volymmotstånd | 20 ℃ | Ω. cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Tillämpning av keramik med hög renhet:
1. Tillämpas på halvledarutrustning: keramiskt vakuumchuck, skärskiva, rengöringsskiva, keramisk chuck.
2. Skivöverföringsdelar: skivhantering av chuckar, skivskärande skivor, skivstädskivor, skivoptiska inspektionssugkoppar.
3. LED / LCD -plattpanel Displayindustri: Keramiskt munstycke, keramisk slipskiva, hissstift, stiftskena.
4. Optisk kommunikation, solindustri: keramiska rör, keramiska stavar, kretskort skärmtryck keramiska skrapare.
5. Värmebeständiga och elektriskt isolerande delar: keramiska lager.
För närvarande kan aluminiumoxidkeramik delas upp i hög renhet och vanlig keramik. Den höga renheten aluminiumoxidkeramikserien hänvisar till det keramiska materialet som innehåller mer än 99,9% Al₂o₃. På grund av sin sintringstemperatur upp till 1650 - 1990 ° C och dess överföringsvåglängd på 1 ~ 6μm bearbetas vanligtvis till smält glas istället för platinum Crucible: som kan användas som natriumrör på grund av dess ljusöverföring och korrosionsbeständighet mot alkalimetall. Inom elektronikindustrin kan den användas som högfrekventa isolerande material för IC-underlag. Enligt olika innehåll i aluminiumoxid kan den vanliga keramiska aluminiumoxiden delas upp i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik och 85 keramik. Ibland klassificeras också keramiken med 80% eller 75% av aluminiumoxid som vanligt keramiska aluminiumoxid. Bland dem används 99 keramiskt aluminiumoxid för att producera hög temperatur degel, brandsäkert ugnsrör och speciella slitbeständiga material, såsom keramiska lager, keramiska tätningar och ventilplattor. 95 Aluminiumkeramik används huvudsakligen som korrosionsbeständig slitbeständig del. 85 Keramik blandas ofta i vissa egenskaper och förbättrar därmed elektrisk prestanda och mekanisk styrka. Den kan använda molybden, niob, tantal och andra metalltätningar, och vissa används som elektriska vakuumanordningar.
Kvalitetsobjekt (representativt värde) | Produktnamn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | Aes-11f | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemisk sammansättning låg-natrium lätt sintringsprodukt | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Lol | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Medium partikeldiameter (MT-3300, Laser Analys Method) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristallstorlek | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Bildande densitet ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Sintringstäthet ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Krympande hastighet av sintringslinje ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* Mgo ingår inte i beräkningen av renhet av al₂o₃.
* Inget skalningspulver 29.4MPA (300 kg/cm²), sintringstemperatur är 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Tillsätt 0,05 ~ 0,1% MGO, sinterbarheten är utmärkt, så den är tillämplig på aluminiumoxid keramik med renheten på mer än 99%.
AES-22S: Karakteriserad av hög formningstäthet och låg krympningshastighet för sintringslinje är det tillämpligt på glidformgjutning och andra storskaliga produkter med nödvändig dimensionell noggrannhet.
AES-23 / AES-31-03: Den har en högre bildningstäthet, tixotropi och en lägre viskositet än AES-22S. Den förstnämnda är van vid keramik medan den senare används som vattenreducerande för brandsäkerhetsmaterial och får popularitet.
♦ Kiselkarbid (SIC) egenskaper
Allmänna egenskaper | Renhet av huvudkomponenter (vikt%) | 97 | |
Färg | Svart | ||
Densitet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vattenabsorption (%) | 0 | ||
Mekaniska egenskaper | Böjlighet (MPA) | 400 | |
Young Modulus (GPA) | 400 | ||
Vickers hårdhet (GPA) | 20 | ||
Termiska egenskaper | Maximal driftstemperatur (° C) | 1600 | |
Termisk expansionskoefficient | Rt ~ 500 ° C | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | Rt ~ 800 ° C | 4.3 | |
Termisk konduktivitet (w/m x k) | 130 110 | ||
Termisk chockmotstånd ΔT (° C) | 300 | ||
Elektriska egenskaper | Volymmotstånd | 25 ° C | 3 x 106 |
300 ° C | - | ||
500 ° C | - | ||
800 ° C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk förlust (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Dielektrisk uppdelningspänning (KV/mm) | - |
♦ Kiselnitridkeramik
Material | Enhet | Si₃n₄ |
Sintringsmetod | - | Gastrycket sintrat |
Densitet | g/cm³ | 3.22 |
Färg | - | Mörkgrå |
Vattenupptagningshastighet | % | 0 |
Unga modul | Gpa | 290 |
Vickers hårdhet | Gpa | 18 - 20 |
Tryckstyrka | MPA | 2200 |
Böjhållfasthet | MPA | 650 |
Termisk konduktivitet | W/mk | 25 |
Termisk chockmotstånd | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maximal driftstemperatur | ° C | 1200 |
Volymmotstånd | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrka | kv/mm | 16 |