Halvledartillverkning
Litografi: Litografi är en nyckelprocess inom halvledartillverkning som kräver exakt överföring av komplexa kretsmönster till wafers. XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering på granitbasen kan ge stabilt stöd och korrekt positionering för litografiutrustningen, säkerställa att waferbordets positionsnoggrannhet i exponeringsprocessen når nanometernivå, effektivt minska mönsteravvikelser orsakade av vibrationer och termisk deformation, och förbättra tillverkningsnoggrannheten och utbytet av chipet.
Waferinspektion: Efter att wafertillverkningen är klar måste den inspekteras med hög precision för att hitta små defekter och defekter. XYT precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan bära detektionsutrustning, såsom elektronstrålemikroskop, atomkraftmikroskop etc., för att upprätthålla stabil rörelse och noggrann positionering under detekteringsprocessen, så att detekteringsutrustningen kan skanna waferytan noggrant, förbättra detektionsupplösningen och noggrannheten.
Tillverkning av optiska instrument
Linsslipning och polering: Vid tillverkning av optiska linser är det nödvändigt att slipa och polera linserna med hög precision för att erhålla goda optiska egenskaper. XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan exakt styra rörelsebanan för slip- och poleringsverktyg, medan granitbasen kan isolera externa vibrationer, minska vibrationers påverkan på bearbetningsnoggrannheten och säkerställa att linsytans planhet och ytfinish uppfyller designkraven.
Montering av optiskt system: I monteringsprocessen för det optiska systemet måste olika optiska komponenter installeras exakt i en specifik position för att säkerställa korrekt ljusspridning och bildkvalitet. XYT:s precisionsrörelseplattform för aktiv vibrationsisolering med granitbas kan ge en stabil plattform för installation och justering av optiska komponenter, och uppnå högprecisionsjustering och montering av optiska komponenter genom exakt rörelsekontroll.
flyg- och rymdfart
Test av tröghetsnavigationssystem: Tröghetsnavigationssystem är en viktig navigationsutrustning inom flyg- och rymdområdet, och dess noggrannhet påverkar direkt flygplanets navigationsnoggrannhet och flygsäkerhet. Vid testning av tröghetsnavigationssystem är det nödvändigt att använda en högprecisionsvridbord för att simulera flygplanets olika rörelsetillstånd. XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan användas som stödplattform för rotationsbordet. Genom exakt rörelsekontroll och god vibrationsisoleringsprestanda ger den en stabil och noggrann rörelsemiljö för testet av tröghetsnavigationssystem, vilket förbättrar testnoggrannheten och tillförlitligheten.
Bearbetning av flygmotorblad: Bearbetningsnoggrannheten hos flygmotorblad har en viktig inverkan på motorns prestanda och effektivitet. XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan appliceras på bladets bearbetningsprocess, såsom femaxliga länkade bearbetningscentra, genom att exakt styra verktygets rörelsebana och upprätthålla en stabil bearbetningsmiljö. Detta för att uppnå högprecisionsbearbetning av bladet och säkerställa att bladets profilnoggrannhet och ytkvalitet uppfyller designkraven.
Vetenskaplig forskningstestning
Nanovetenskaplig forskning: Inom nanovetenskaplig forskning är det nödvändigt att använda och observera nanoskaliga objekt, såsom framställning av nanomaterial och montering av nanokomponenter. Granitbasen på XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan ge positioneringsnoggrannhet på submikron- eller till och med nanonivå, ge en stabil och noggrann experimentell plattform för nanovetenskaplig forskning och hjälpa forskare att bättre utforska nanovärldens mysterier.
Biomedicinsk avbildning: Inom det biomedicinska området, såsom fluorescensmikroskopi, konfokalmikroskopi och andra avbildningsenheter, krävs exakt positionering och stabil avbildning av provet för att erhålla högupplösta biologiska bilder. XYT:s precisionsplattform för aktiv vibrationsisolering kan bära biologiska prover, minska vibrationer och drift i prover genom noggrann rörelsekontroll och god vibrationsisoleringsprestanda, förbättra kvaliteten och noggrannheten i avbildningen och hjälpa biomedicinska forskare att bedriva djupgående forskning om celler, vävnader och andra mikroskopiska strukturer.
Publiceringstid: 11 april 2025