Granit är en naturligt förekommande bergart som länge har använts i waferbearbetningsutrustning. Den är känd för sina utmärkta egenskaper med låg värmeutvidgning, hög styvhet och god stabilitet. Men liksom alla material har granit sina egna defekter som kan påverka kvaliteten på waferbearbetningsutrustningen.
En av granitens största brister är dess tendens att spricka eller gå sönder. Detta beror på förekomsten av mikrosprickor som kan uppstå under bergets bildande. Om dessa mikrosprickor inte identifieras och behandlas korrekt kan de sprida sig och leda till att utrustningen går sönder. För att förhindra att detta händer måste tillverkare av bearbetningsutrustning använda högkvalitativ granit som har behandlats och testats för att säkerställa att den är fri från mikrosprickor.
En annan nackdel med granit är dess känslighet för korrosion. Om granitutrustning kommer i kontakt med korrosiva miljöer kan den börja brytas ner med tiden. Detta kan leda till att utrustningen skadas eller inte fungerar korrekt. För att förhindra detta måste tillverkare se till att graniten som används i deras utrustning är korrekt behandlad och ytbelagd för att förhindra korrosion.
Granit är också benägen att deformeras med tiden på grund av sina inneboende termiska egenskaper. Detta beror på att granit har en mycket låg värmeutvidgningskoefficient, vilket innebär att den inte expanderar eller krymper mycket när den utsätts för temperaturförändringar. Men även en liten mängd expansion eller sammandragning kan orsaka deformation i utrustningen med tiden. Det är viktigt att utrustningstillverkaren tar hänsyn till granitens termiska egenskaper när de utformar sin utrustning för att förhindra att denna defekt uppstår.
Slutligen kan granitens porösa natur leda till problem med kontaminering. Om graniten inte är ordentligt förseglad kan den absorbera föroreningar som kan påverka skivans kvalitet. Detta kan leda till kostsamma driftstopp och förlorad produktion. För att förhindra detta måste tillverkare försegla graniten ordentligt för att förhindra att föroreningar absorberas.
Sammanfattningsvis är granit ett utmärkt material för användning i waferbearbetningsutrustning. Det är dock viktigt att vara medveten om dess defekter och vidta nödvändiga försiktighetsåtgärder för att förhindra att de uppstår. Med korrekt skötsel och underhåll kan granitutrustning fortsätta att fungera i många år och ge högkvalitativa wafers till halvledarindustrin.
Publiceringstid: 27 dec 2023