I halvledartillverkningsprocessen är skivskärning ett kritiskt steg som kräver hög precision och stabilitet från utrustningen. ZHHIMG®-maskinbaser i granit erbjuder flera distinkta fördelar när de används i skivskärmaskiner, vilket gör dem till ett idealiskt val för denna utmanande applikation.
Exceptionell stabilitetZHHIMG®-granit, med sin densitet på cirka 3100 kg/m³, ger en bergfast grund för waferskärmaskiner. Den höga densiteten resulterar i utmärkt stabilitet, vilket minimerar eventuella rörelser eller vibrationer under skärprocessen. Denna stabilitet är avgörande eftersom även den minsta vibration kan få skärverktyget att avvika från sin avsedda bana, vilket leder till felaktiga snitt och defekta wafers. Till skillnad från material med lägre densitet säkerställer ZHHIMG®-granit att skärhuvudet förblir exakt positionerat, vilket möjliggör produktion av högkvalitativa, jämna snitt över wafern.
Låg värmeutvidgningHalvledartillverkningsanläggningar har ofta strikt temperaturkontroll, men små fluktuationer kan fortfarande förekomma. Granit från ZHHIMG® har en mycket låg värmeutvidgningskoefficient. Det innebär att när temperaturen ändras något i tillverkningsmiljön kommer granitmaskinens bas inte att expandera eller krympa signifikant. Vid waferskärning, där precisionstoleranser ligger i mikrometer- eller till och med nanometerområdet, kan termiskt orsakade dimensionsförändringar vara katastrofala. Den låga värmeutvidgningen hos ZHHIMG®-granit hjälper till att bibehålla uppriktningen av skärmaskinens komponenter, vilket säkerställer att skärprocessen förblir korrekt oavsett mindre temperaturvariationer.
Överlägsen vibrationsdämpningVid skivskärning genererar skärverktyget vibrationer. Om dessa vibrationer inte dämpas effektivt kan de överföras till skivan och orsaka flisning eller andra skador. ZHHIMG®-granit har naturliga vibrationsdämpande egenskaper. Dess interna struktur, som har formats under långa geologiska perioder, gör att den kan absorbera och avleda vibrationer snabbt. Detta är en betydande fördel jämfört med vissa metallbaserade maskinbaser, som kan överföra vibrationer lättare. Genom att minska vibrationer bidrar ZHHIMG®-granitmaskinbaser till jämnare skäroperationer, vilket resulterar i renare skärningar och skivor av högre kvalitet.
Hög slitstyrkaWaferskärmaskiner används kontinuerligt vid tillverkning av stora volymer av halvledare. Skärprocessen utsätter maskinbasen för mekanisk stress och friktion. ZHHIMG®-granits höga hårdhet och slitstyrka gör att maskinbasen kan motstå dessa krafter under längre perioder utan betydande slitage. Denna hållbarhet innebär att maskinbasen kan bibehålla sin måttnoggrannhet och prestanda under en lång livslängd. Det minskar behovet av frekventa utbyten eller kostsamt underhåll på grund av slitagerelaterade problem, vilket i slutändan sparar både tid och pengar för halvledartillverkare.
Kemisk inertitet Halvledartillverkningsmiljöer kan utsätta utrustning för olika kemikalier som används vid rengöring, etsning eller andra processer. ZHHIMG®-granit är kemiskt inert och resistent mot korrosion från dessa kemikalier. Denna egenskap säkerställer att maskinbasens integritet förblir intakt, även vid exponering för starka kemiska ämnen. Det bidrar till att bibehålla stabiliteten och noggrannheten hos skivskärmaskinen över tid, eftersom kemisk korrosion annars kan leda till deformation eller försämring av maskinbasens prestanda.
Sammanfattningsvis erbjuder ZHHIMG® granitmaskinbaser en kombination av stabilitet, värmebeständighet, vibrationsdämpning, slitstyrka och kemisk inertitet som är mycket fördelaktiga för waferskärmaskiner. När man överväger en uppgradering eller ett nytt köp av waferskärutrustning är det ett klokt beslut att välja en maskin med en ZHHIMG® granitmaskinbas som kan förbättra kvaliteten och effektiviteten i halvledartillverkningsprocesserna.
Publiceringstid: 3 juni 2025