I den framkant av precisionstillverkning och vetenskaplig forskning ökar efterfrågan på ultraprecisionsrörelsestyrning dag för dag. Som den viktigaste utrustningen för att uppnå högprecisionslinjär rörelse påverkar prestandan hos den ultraprecisions enaxliga luftflytande modulen direkt kvaliteten på slutprodukten och noggrannheten i de vetenskapliga forskningsresultaten. Bland de många påverkande faktorerna ger tillämpningen av granitbas den en oöverträffad fördel och blir kärnelementet för att säkerställa utmärkt noggrannhet.
Granit, efter miljontals år av geologiska förändringar, har en extremt tät och enhetlig inre struktur. Den består huvudsakligen av kvarts, fältspat och andra mineraler, vilket ger graniten utmärkta fysikaliska egenskaper. När den används som bas för en enaxlig luftflytande ultraprecisionsrörelsemodul uppvisar granit först extremt hög stabilitet. Jämfört med vanliga metallmaterialbaser uppvisar granitbaser starkare deformationsmotstånd mot externa miljöstörningar, såsom temperaturfluktuationer och mekaniska vibrationer. Vid tillverkning av elektroniska chip krävs att positioneringsnoggrannheten för chiplitografi når nanometernivå. I produktionsverkstaden kan vibrationer som genereras av driften av stor utrustning och små förändringar i omgivningstemperaturen påverka litografiutrustningens rörelsenoggrannhet. Den enaxliga luftflytande ultraprecisionsrörelsemodulen med granitbas kan effektivt dämpa externa vibrationer och minska vibrationsamplituden som överförs till rörelsemodulen med mer än 80 %. Samtidigt gör dess extremt låga värmeutvidgningskoefficient att basens storlek förändras väldigt lite när temperaturen ändras, vilket säkerställer att den luftflytande rörelsemodulen fortfarande kan bibehålla stabil rörelsenoggrannhet i en komplex miljö, vilket ger en exakt positioneringsbas för chiplitografi och avsevärt förbättrar utbytet av chiptillverkning.
Dessutom har granit god slitstyrka. Vid frekvent fram- och återgående rörelse hos den ultraprecisions enaxliga luftflottörmodulen, även om det finns ett gasfilmsstöd mellan luftflottörens glidreglage och basen, kommer långvarig användning oundvikligen att producera en viss grad av friktion. Granitbasen, med sina höga hårdhetsegenskaper, kan effektivt motstå slitage som orsakas av denna friktion och förlänga rörelsemodulens livslängd. I universitetens vetenskapliga forskningslaboratorier behöver den experimentella utrustning som används för mikropartikeldetektering att ultraprecisionsrörelsemodulen för enaxlig luftflotation körs stabilt under lång tid för att erhålla ett stort antal noggranna experimentella data. Granitbasens höga slitstyrka säkerställer att rörelsemodulens noggrannhet fortfarande kan bibehållas på den initiala höga precisionsnivån efter lång tids användning, vilket ger en tillförlitlig garanti för kontinuiteten och noggrannheten i det vetenskapliga forskningsarbetet och hjälper forskare att djupt utforska den mikroskopiska världens mysterier.
Den enaxliga luftflytande ultraprecisionsrörelsemodulen med granitbas fungerar som en exakt "navigator" för precisionstillverkning och vetenskaplig forskning. Granitbasen med sin utmärkta stabilitet, slitstyrka och högprecisionsrörelse ger ett solidt stöd för den luftflytande rörelsemodulens högprecisionsrörelse. Modulen spelar en oersättlig roll inom halvledartillverkning, tillverkning av optiska instrument, avancerad vetenskaplig forskning och många andra precisionskrav inom området. Den driver industrin mot en riktning mot högre precision och högre kvalitet.
Publiceringstid: 7 april 2025