Granitmaterial används ofta i halvledarindustrin på grund av deras utmärkta egenskaper, såsom hög stabilitet, låg värmeutvidgning och hög motstånd mot korrosion. Dessa egenskaper gör granit till ett idealiskt material för att bygga komponenter med hög precision i ett skivöverföringssystem.
I halvledartillverkningsprocessen spelar skivöverföringssystemet en avgörande roll för att transportera skivor över olika stadier i tillverkningsprocessen. Precision och noggrannhet är de väsentliga kraven för dessa system eftersom till och med små avvikelser kan äventyra hela processen. Därför måste komponenter i skivöverföringssystemet göras av material av hög kvalitet, och granit uppfyller dessa kriterier.
Vissa delar av skivöverföringssystemet som är tillverkat av granitmaterial inkluderar:
1. Vakuumchuckbord
Vakuumchucktabellen används för att hålla skivan under processen, och det måste ha en stabil yta för att säkerställa att skivan inte skadas. Granit är ett idealiskt material för att göra detta bord eftersom det har en platt, icke-porös yta som ger hög stabilitet och precision. Dessutom har granit en låg termisk expansionskoefficient, vilket gör den resistent mot temperaturförändringar som kan orsaka dimensionella förändringar i skivan.
2. Luftbärande scen
Det luftbärande stadiet används för att transportera skivan genom olika stadier i tillverkningsprocessen. Scenen är konstruerad för att ge en friktionslös rörelse, vilket kräver hög precision och stabilitet. Granit används i denna applikation eftersom den är en styv och hård sten, och den motstår deformation och slitage över tid.
3. Linjära rörelseguider
De linjära rörelseguiderna används för att vägleda det luftbärande steget, och de måste vara korrekt placerade för att minimera fel. Granit används för att bygga den här guiden eftersom den har utmärkt mekanisk stabilitet och styrka. Materialet är också korrosionsbeständigt, vilket säkerställer ledningssystemets livslängd.
4. Metrologutrustning
Metrologutrustning används för att mäta måtten och egenskaperna hos skivan under tillverkningsprocessen. Granit är ett idealiskt material för att bygga denna utrustning eftersom den har hög styvhet, låg expansion och minimal deformation under belastning. Dessutom säkerställer Granites termiska stabilitet att metrologutrustningen förblir stabil och korrekt över tid.
Sammanfattningsvis förlitar sig halvledarindustrin på precision och noggrannhet, och granitmaterial har visat sig vara mycket tillförlitliga och stabila i tillverkningsprocessen. Med många kritiska komponenter i skivöverföringssystemet som kräver hög stabilitet, precision och låg termisk expansion har ingenjörer vänt sig till granitmaterial för att uppfylla dessa kritiska krav.
Posttid: Mar-19-2024