Granitmaterial används ofta i halvledarindustrin på grund av deras utmärkta egenskaper, såsom hög stabilitet, låg termisk expansion och hög motståndskraft mot korrosion.Dessa egenskaper gör granit till ett idealiskt material för att bygga högprecisionskomponenter i ett waferöverföringssystem.
I halvledartillverkningsprocessen spelar waferöverföringssystemet en avgörande roll för att transportera wafers över olika stadier av tillverkningsprocessen.Precision och noggrannhet är de väsentliga kraven för dessa system eftersom även små avvikelser kan äventyra hela processen.Därför måste komponenter i waferöverföringssystemet vara tillverkade av högkvalitativa material, och granit uppfyller dessa kriterier.
Vissa delar av waferöverföringssystemet som är gjorda av granitmaterial inkluderar:
1. Vakuumchuckbord
Vakuumchuckbordet används för att hålla kvar wafern under processen, och den måste ha en stabil yta för att säkerställa att wafern inte skadas.Granit är ett idealiskt material för att göra detta bord eftersom det har en platt, icke-porös yta som ger hög stabilitet och precision.Dessutom har granit en låg termisk expansionskoefficient, vilket gör den resistent mot temperaturförändringar som kan orsaka dimensionsförändringar i skivan.
2. Luftbärande steg
Det luftbärande steget används för att transportera wafern genom olika stadier av tillverkningsprocessen.Scenen är konstruerad för att ge en friktionsfri rörelse, vilket kräver hög precision och stabilitet.Granit används i denna applikation eftersom det är en styv och hård sten, och den motstår deformation och slitage över tid.
3. Linjära rörelseguider
De linjära rörelsestyrningarna används för att styra det luftbärande steget, och de måste vara korrekt placerade för att minimera fel.Granit används för att bygga denna guide eftersom den har utmärkt mekanisk stabilitet och styrka.Materialet är också korrosionsbeständigt, vilket säkerställer styrsystemets livslängd.
4. Metrologisk utrustning
Metrologisk utrustning används för att mäta waferns dimensioner och egenskaper under tillverkningsprocessen.Granit är ett idealiskt material för att bygga denna utrustning eftersom den har hög styvhet, låg expansion och minimal deformation under belastning.Granits termiska stabilitet säkerställer dessutom att mätutrustningen förblir stabil och exakt över tiden.
Sammanfattningsvis förlitar sig halvledarindustrin på precision och noggrannhet, och granitmaterial har visat sig vara mycket pålitliga och stabila i tillverkningsprocessen.Med många kritiska komponenter i waferöverföringssystemet som kräver hög stabilitet, precision och låg termisk expansion, har ingenjörer vänt sig till granitmaterial för att uppfylla dessa kritiska krav.
Posttid: 19-mars 2024