Granitmaterial används ofta inom halvledarindustrin tack vare deras utmärkta egenskaper, såsom hög stabilitet, låg termisk expansion och hög korrosionsbeständighet. Dessa egenskaper gör granit till ett idealiskt material för att bygga högprecisionskomponenter i ett waferöverföringssystem.
I halvledartillverkningsprocessen spelar waferöverföringssystemet en avgörande roll för att transportera wafers mellan olika steg i tillverkningsprocessen. Precision och noggrannhet är de viktigaste kraven för dessa system eftersom även små avvikelser kan äventyra hela processen. Därför måste komponenterna i waferöverföringssystemet vara tillverkade av högkvalitativa material, och granit uppfyller dessa kriterier.
Några delar av waferöverföringssystemet som är tillverkade av granitmaterial inkluderar:
1. Vakuumchuckbord
Vakuumchuckbordet används för att hålla wafern under processen, och det måste ha en stabil yta för att säkerställa att wafern inte skadas. Granit är ett idealiskt material för att tillverka detta bord eftersom det har en plan, icke-porös yta som ger hög stabilitet och precision. Dessutom har granit en låg värmeutvidgningskoefficient, vilket gör den motståndskraftig mot temperaturförändringar som kan orsaka dimensionsförändringar i wafern.
2. Luftlagersteg
Luftlagret används för att transportera skivan genom olika steg i tillverkningsprocessen. Steget är konstruerat för att ge en friktionsfri rörelse, vilket kräver hög precision och stabilitet. Granit används i denna tillämpning eftersom det är en styv och hård sten, och den motstår deformation och slitage över tid.
3. Linjära rörelsestyrningar
Linjärstyrningarna används för att styra det luftbärande steget, och de måste placeras korrekt för att minimera fel. Granit används för att bygga denna styrning eftersom den har utmärkt mekanisk stabilitet och hållfasthet. Materialet är också korrosionsbeständigt, vilket säkerställer styrsystemets långa livslängd.
4. Mätutrustning
Mätutrustning används för att mäta waferns dimensioner och egenskaper under tillverkningsprocessen. Granit är ett idealiskt material för att bygga denna utrustning eftersom den har hög styvhet, låg expansion och minimal deformation under belastning. Dessutom säkerställer granitens termiska stabilitet att mätutrustningen förblir stabil och noggrann över tid.
Sammanfattningsvis är halvledarindustrin beroende av precision och noggrannhet, och granitmaterial har visat sig vara mycket tillförlitliga och stabila i tillverkningsprocessen. Med många kritiska komponenter i waferöverföringssystemet som kräver hög stabilitet, precision och låg termisk expansion har ingenjörer vänt sig till granitmaterial för att uppfylla dessa kritiska krav.
Publiceringstid: 19 mars 2024