I halvledartillverkningsvärlden är precis och noggrann utrustning avgörande för att producera högkvalitativa chips. Det finns många delar av en halvledartillverkningsanläggning som måste använda material med specifika egenskaper för att säkerställa tillförlitlig och högprecisionsdrift.
Ett material som har blivit en standardkomponent i halvledarutrustning är granit. Granit är känt för sin styrka och stabilitet och är ett utmärkt material för att konstruera och tillverka komponenter som används i halvledarutrustning. Här är några av de delar av halvledarutrustning som vanligtvis använder granitmaterial:
1. Bottenplattor
Basplattorna i halvledarutrustning måste vara extremt plana och stabila för att minimera vibrationer och temperaturvariationer. Och granit är ett av få material som kan uppfylla dessa krav. Granit är ett dimensionsstabilt material som motstår vridning och termisk expansion, vilket säkerställer att basplattan bibehåller sin planhet över tid.
2. Etapper
Stegen är kritiska komponenter i halvledarutrustning som utför exakta rörelser för tillverkningsprocesser som waferpositionering, etsning och deponering. Granitsteg används ofta i halvledarutrustning på grund av deras höga styvhet, låga värmeutvidgning och utmärkta dämpningsegenskaper. Med granitsteg är rörelserna mer exakta och utrustningen har en lägre risk för fel.
3. Linjära styrningar
Linjärstyrningar är mekaniska anordningar som ger linjär rörelse längs två parallella skenor. De måste vara extremt stabila och precisa, och granit är det ideala materialet för detta ändamål. Granitens höga styvhet och dämpningsegenskaper gör den till ett populärt val för linjärstyrningar som används i halvledarutrustning, vilket säkerställer stabilitet och precision i tillverkningsprocessen.
4. Chuckar
Chuckar används för att hålla och positionera wafers under olika tillverkningsprocesser. Granitchuckar är populära på grund av sin planhet och termiska stabilitet. På grund av granitens låga termiska expansion vrider sig inte chuckar tillverkade av detta material eller ändrar dimensioner när de utsätts för temperaturförändringar.
5. Inspektionsplattor
Inspektionsplattor används för att kontrollera kvaliteten på produkter som tillverkas i halvledarutrustning. Dessa plattor måste vara extremt plana och stabila, och kunna reflektera ljus noggrant. Granits höga reflektionsförmåga, ytjämnhet och dimensionsstabilitet gör det till ett populärt val för inspektionsplattor i halvledarutrustning.
Sammanfattningsvis används granitelement i stor utsträckning för precisionsdelar i halvledarutrustning, och deras användning förväntas öka tack vare deras utmärkta egenskaper. Med sin höga styvhet, låga värmeutvidgning och utmärkta dämpningsegenskaper ger granitelement den stabilitet, noggrannhet och repeterbarhet som krävs för att utföra nanoskaliga operationer i halvledarutrustning. Företag som producerar högkvalitativ halvledarutrustning investerar i de bästa materialen för att ge sina produkter bästa möjliga chans att lyckas, och granit fortsätter att vara ett populärt material tack vare dess utmärkta egenskaper och tillförlitlighet.
Publiceringstid: 19 mars 2024