Inom tillverkningsutrustning för halvledare och optoelektronik används granit huvudsakligen i viktiga delar som precisionsrörelseplattformar, styrskensbaser, vibrationsisoleringsstödstrukturer och installationssubstrat för optiska komponenter. Dessa delar har extremt höga krav på precision, stabilitet och miljötolerans. Granitens egenskaper kan exakt uppfylla de strikta kraven från halvledar- och optoelektronikindustrin. Följande är en analys av specifika tillämpningsscenarier och fördelar:
I. Huvudsakliga tillämpningsdelar
Precisionsrörelseplattformar (såsom waferplattformar för fotolitografimaskiner och bindningsmaskiner)
Den används för att bära precisionskomponenter som wafers och optiska linser, vilket uppnår translations- och rotationsrörelser med nanoskalig noggrannhet.
Typisk utrustning: arbetsstyckesbord för fotolitografimaskin, positioneringsplattform för mätutrustning.
Styrskenesbas och ramkonstruktion
Som installationsbas för linjärstyrningar och luftflotationsstyrningar stöder den utrustningens kärnrörelsemekanism.
Typisk utrustning: mekaniska ramar för halvledarförpackningsutrustning och optiska inspektionsinstrument.
Vibrationsisoleringsstöd och stabiliserande struktur
Den används för att isolera externa vibrationer (såsom vibrationer från fabriksgolvet eller under utrustningens drift), vilket säkerställer stabiliteten hos optiska system eller precisionsmaskiner.
Typiska scenarier: Basstöd för optiska mikroskop och laserinterferometrar.
Monteringssubstrat för optisk komponent
Fixera optiska anordningar som speglar, prismor och lasrar för att säkerställa långsiktig stabilitet hos den optiska vägsystemets justeringsnoggrannhet.
Typisk utrustning: Optoelektronisk förpackningsutrustning, optiska fiberkopplingssystem.
Publiceringstid: 29 maj 2025