Granit är ett hårt och hållbart material som ofta används i byggbranschen.Den har dock också egenskaper som gör den användbar vid halvledartillverkning, särskilt vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar.Granitkomponenter, såsom granitbord och granitblock, används ofta för sin stabilitet, planhet och låga värmeutvidgningskoefficient.
En av de primära användningsområdena för granitkomponenter i halvledartillverkning är i tillverkningsprocessen.Kiselwafers, de grundläggande byggstenarna i integrerade kretsar, måste tillverkas med hög precision och noggrannhet.Varje förvrängning eller rörelse under processen kan leda till defekter som kan påverka de integrerade kretsarnas kvalitet och funktionalitet.Granitbord, med sin höga stabilitet och planhet, ger en bra plattform för bearbetningsutrustningen för wafer.De är också resistenta mot termisk expansion och sammandragning som orsakas av den uppvärmning och kylning som krävs i processen.
Granitblock används också i halvledarbearbetning för deras termiska stabilitet.Under etsnings- eller avsättningsprocesser används heta gaser eller plasma för att modifiera kiselskivans yta.Temperaturen på skivan måste kontrolleras för att säkerställa att processen utförs effektivt och korrekt.Granitblock, med sin låga värmeutvidgningskoefficient, hjälper till att stabilisera temperaturen på skivan, vilket minskar risken för temperaturfluktuationer som kan påverka kvaliteten på det bearbetade materialet.
Bortsett från tillverknings- och bearbetningsprocesserna används granitkomponenter också i metrologi- och inspektionsstadierna av halvledartillverkning.Metrologiska mätningar görs för att säkerställa att storleken, formen och placeringen av strukturerna på wafern ligger inom de erforderliga specifikationerna.Granitblock används som referensstandard i dessa mätningar på grund av deras dimensionella stabilitet och noggrannhet.De används också i inspektionssteg, där kvaliteten på de integrerade kretsarna kontrolleras under hög förstoring.
Sammantaget har användningen av granitkomponenter i halvledartillverkning ökat de senaste åren.Behovet av hög precision, noggrannhet och stabilitet vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar har drivit antagandet av dessa material av halvledartillverkare.Granitens unika egenskaper, såsom dess hårdhet, stabilitet och låga värmeutvidgningskoefficient, gör den till ett utmärkt val för användning i dessa processer.Med den fortsatta utvecklingen och förbättringen av halvledarteknologi förväntas användningen av granitkomponenter växa ytterligare i framtiden.
Posttid: Dec-05-2023