Granit är ett hårt och hållbart material som ofta används inom byggindustrin. Det har dock också egenskaper som gör det användbart vid halvledartillverkning, särskilt vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar. Granitkomponenter, såsom granitbord och granitblock, används ofta för sin stabilitet, planhet och låga värmeutvidgningskoefficient.
En av de primära användningsområdena för granitkomponenter inom halvledartillverkning är i tillverkningsprocessen. Kiselskivor, de grundläggande byggstenarna i integrerade kretsar, måste tillverkas med hög precision och noggrannhet. All distorsion eller rörelse under processen kan leda till defekter som kan påverka kvaliteten och funktionaliteten hos de integrerade kretsarna. Granitbord, med sin höga stabilitet och planhet, ger en bra plattform för waferbearbetningsutrustningen. De är också motståndskraftiga mot termisk expansion och sammandragning orsakad av den uppvärmning och kylning som krävs i processen.
Granitblock används också i halvledarbearbetning för sin termiska stabilitet. Under etsnings- eller deponeringsprocesser används heta gaser eller plasma för att modifiera kiselskivans yta. Skivans temperatur måste kontrolleras för att säkerställa att processen utförs effektivt och noggrant. Granitblock, med sin låga värmeutvidgningskoefficient, hjälper till att stabilisera skivans temperatur, vilket minskar risken för temperaturfluktuationer som kan påverka kvaliteten på det bearbetade materialet.
Förutom tillverknings- och bearbetningsprocesserna används granitkomponenter även i metrologi- och inspektionsstegen inom halvledartillverkning. Metrologiska mätningar görs för att säkerställa att storleken, formen och positionen på strukturerna på wafern ligger inom de erforderliga specifikationerna. Granitblock används som referensstandarder i dessa mätningar på grund av deras dimensionsstabilitet och noggrannhet. De används också i inspektionssteg, där kvaliteten på de integrerade kretsarna kontrolleras under hög förstoring.
Sammantaget har användningen av granitkomponenter inom halvledartillverkning ökat de senaste åren. Behovet av hög precision, noggrannhet och stabilitet vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar har drivit halvledartillverkares användning av dessa material. Granitens unika egenskaper, såsom hårdhet, stabilitet och låga värmeutvidgningskoefficient, gör den till ett utmärkt val för användning i dessa processer. Med den fortsatta utvecklingen och förbättringen av halvledartekniken förväntas användningen av granitkomponenter öka ytterligare i framtiden.
Publiceringstid: 5 december 2023