Granit är ett hårt och hållbart material som ofta används i byggbranschen. Det har emellertid också egenskaper som gör det användbart vid halvledartillverkning, särskilt vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar. Granitkomponenter, såsom granittabeller och granitblock, används allmänt för deras stabilitet, planhet och låg värmeutvidgningskoefficient.
En av de primära användningarna av granitkomponenter i halvledartillverkning finns i tillverkningsprocessen. Kiselskivor, de grundläggande byggstenarna för integrerade kretsar, måste tillverkas med hög precision och noggrannhet. Varje snedvridning eller rörelse under processen kan leda till defekter som kan påverka kvaliteten och funktionaliteten hos de integrerade kretsarna. Granittabeller, med deras höga stabilitet och planhet, ger en bra plattform för skivbehandlingsutrustningen. De är också resistenta mot termisk expansion och sammandragning orsakad av uppvärmning och kylning som krävs i processen.
Granitblock används också vid halvledarbearbetning för deras termiska stabilitet. Under etsning eller avsättningsprocesser används varma gaser eller plasma för att modifiera ytan på kiselskivan. Temperaturen på skivan måste kontrolleras för att säkerställa att processen genomförs effektivt och exakt. Granitblock, med sin låga värmeutvidgningskoefficient, hjälper till att stabilisera temperaturen på skivan, vilket minskar risken för temperaturfluktuationer som kan påverka kvaliteten på det bearbetade materialet.
Bortsett från tillverknings- och bearbetningsprocesserna används också granitkomponenter i metrologin och inspektionsstadierna för tillverkning av halvledartillverkning. Metrologimätningar görs för att säkerställa att storleken, formen och positionen för strukturerna på skivan ligger inom de nödvändiga specifikationerna. Granitblock används som referensstandarder i dessa mätningar på grund av deras dimensionella stabilitet och noggrannhet. De används också i inspektionssteg, där kvaliteten på de integrerade kretsarna kontrolleras under hög förstoring.
Sammantaget har användningen av granitkomponenter i halvledartillverkning ökat de senaste åren. Behovet av hög precision, noggrannhet och stabilitet vid tillverkning och bearbetning av integrerade kretsar har drivit antagandet av dessa material av halvledartillverkare. De unika egenskaperna hos granit, såsom dess hårdhet, stabilitet och låg värmeutvidgningskoefficient, gör det till ett utmärkt val för användning i dessa processer. Med den fortsatta utvecklingen och förbättringen av halvledarteknologi förväntas användningen av granitkomponenter växa ytterligare i framtiden.
Posttid: dec-05-2023