Granitmaskinbaser används flitigt i waferbearbetningsutrustning på grund av deras överlägsna egenskaper som hög styvhet, stabilitet och precision. Montering, testning och kalibrering av en granitmaskinbas är en kritisk process som kräver största möjliga noggrannhet, precision och noggrannhet. I den här artikeln kommer vi att diskutera steg-för-steg-processen för att montera, testa och kalibrera en granitmaskinbas för waferbearbetningsutrustning.
Montering
Det första steget är att förbereda granitplattan, basen och pelaren för montering. Se till att alla ytor är rena, torra och fria från skräp, damm eller olja. Sätt in nivelleringsstiften i basen och placera ytplattan ovanpå den. Justera nivelleringsstiften så att ytplattan är horisontell och jämn. Se till att ytplattan är i jämnhöjd med basen och pelaren.
Montera sedan kolonnen på basen och säkra den med bultar. Använd en momentnyckel för att dra åt bultarna till tillverkarens rekommenderade momentvärde. Kontrollera kolonnens nivå och justera nivåjusteringsbultarna vid behov.
Montera slutligen spindelaggregatet på toppen av kolonnen. Använd en momentnyckel för att dra åt bultarna till tillverkarens rekommenderade momentvärde. Kontrollera spindelaggregatets nivå och justera nivåjusteringsbultarna vid behov.
Testning
Efter att maskinbasen har monterats är nästa steg att testa dess funktionalitet och noggrannhet. Anslut strömförsörjningen och slå på maskinen. Se till att alla komponenter som motorer, kugghjul, remmar och lager fungerar korrekt och utan några avvikelser eller ovanliga ljud.
För att testa maskinens noggrannhet, använd en precisionsindikator för att mäta spindelns kast. Ställ in indikatorn på ytplattan och rotera spindeln. Den maximala tillåtna kastlängden ska vara mindre än 0,002 mm. Om kastlängden är större än den tillåtna gränsen, justera nivelleringsbultarna och kontrollera igen.
Kalibrering
Kalibrering är det avgörande steget för att säkerställa maskinbasens noggrannhet och precision. Kalibreringsprocessen innebär att man testar och justerar maskinens parametrar, såsom hastighet, positionering och noggrannhet, för att säkerställa att maskinen uppfyller tillverkarens specifikationer.
För att kalibrera maskinen behöver du ett kalibreringsverktyg, vilket inkluderar en laserinterferometer, en laserspårare eller en ballbar. Dessa verktyg mäter maskinens rörelse, position och inriktning med hög noggrannhet.
Börja med att mäta maskinens linjära och vinkelaxlar. Använd kalibreringsverktyget för att mäta maskinens rörelse och position över ett specificerat avstånd eller en specifik vinkel. Jämför de uppmätta värdena med tillverkarens specifikationer. Om det finns någon avvikelse, justera maskinens parametrar, såsom motorer, kugghjul och drivenheter, för att få de uppmätta värdena inom de tillåtna gränserna.
Testa sedan maskinens cirkulära interpoleringsfunktion. Använd kalibreringsverktyget för att skapa en cirkulär bana och mät maskinens rörelse och position. Jämför återigen de uppmätta värdena med tillverkarens specifikationer och justera parametrarna vid behov.
Slutligen, testa maskinens repeterbarhet. Mät maskinens position vid olika punkter under en specificerad period. Jämför de uppmätta värdena och kontrollera eventuella avvikelser. Om det finns några avvikelser, justera maskinens parametrar och upprepa testet.
Slutsats
Att montera, testa och kalibrera en granitmaskinbas för waferbearbetningsutrustning är en kritisk process som kräver tålamod, noggrannhet och precision. Genom att följa dessa steg kan du säkerställa att maskinen uppfyller tillverkarens specifikationer och fungerar med noggrannhet, stabilitet och precision.
Publiceringstid: 28 december 2023