Hur man monterar, testar och kalibrerar granitmaskinbas för Wafer Processing Equipment-produkter

Maskinbaser av granit används flitigt i produkter för bearbetningsutrustning för wafer på grund av deras överlägsna egenskaper som hög styvhet, stabilitet och precision.Att montera, testa och kalibrera en maskinbas i granit är en kritisk process som kräver yttersta uppmärksamhet på detaljer, precision och noggrannhet.I den här artikeln kommer vi att diskutera steg-för-steg-processen för att montera, testa och kalibrera en granitmaskinbas för produkter för bearbetningsutrustning för wafer.

Montering

Det första steget är att förbereda granitytplattan, basen och kolonnen för montering.Se till att alla ytor är rena, torra och fria från skräp, damm eller olja.Sätt in nivelleringsbultarna i basen och placera ytplattan ovanpå den.Justera utjämningsreglarna så att ytplåten är horisontell och jämn.Se till att ytplattan är i jämnhöjd med basen och pelaren.

Installera sedan kolonnen på basen och fäst den med bultar.Använd en momentnyckel för att dra åt bultarna till tillverkarens rekommenderade vridmomentvärde.Kontrollera nivån på kolonnen och justera nivelleringsbultarna vid behov.

Slutligen, installera spindelenheten på toppen av kolonnen.Använd en momentnyckel för att dra åt bultarna till tillverkarens rekommenderade vridmomentvärde.Kontrollera nivån på spindelenheten och justera nivelleringsbultarna vid behov.

Testning

Efter montering av maskinbasen är nästa steg att testa dess funktionalitet och noggrannhet.Anslut strömförsörjningen och slå på maskinen.Se till att alla komponenter som motorer, växlar, remmar och lager fungerar korrekt och utan några avvikelser eller ovanliga ljud.

För att testa maskinens noggrannhet, använd en precisionsindikator för att mäta spindelns utlopp.Ställ in mätklockan på ytplattan och vrid spindeln.Maximalt tillåtet utslag bör vara mindre än 0,002 mm.Om utloppet är större än den tillåtna gränsen, justera nivelleringsbultarna och kontrollera igen.

Kalibrering

Kalibrering är det kritiska steget för att säkerställa noggrannheten och precisionen hos maskinbasen.Kalibreringsprocessen innebär att testa och justera maskinens parametrar, såsom hastighet, positionering och noggrannhet, för att säkerställa att maskinen uppfyller tillverkarens specifikationer.

För att kalibrera maskinen behöver du ett kalibreringsverktyg som inkluderar en laserinterferometer, en laserspårare eller en ballbar.Dessa verktyg mäter maskinens rörelse, position och inriktning med hög noggrannhet.

Börja med att mäta maskinens linjära och vinkelaxel.Använd kalibreringsverktyget för att mäta maskinens rörelse och position över en specificerad sträcka eller vinkel.Jämför de uppmätta värdena med tillverkarens specifikationer.Om det finns någon avvikelse, justera maskinens parametrar, såsom motorer, växlar och drivenheter, för att få de uppmätta värdena inom de tillåtna gränserna.

Testa sedan maskinens cirkulära interpolationsfunktion.Använd kalibreringsverktyget för att skapa en cirkulär bana och mät maskinens rörelse och position.Återigen, jämför de uppmätta värdena med tillverkarens specifikationer och justera parametrarna vid behov.

Testa slutligen maskinens repeterbarhet.Mät maskinens position vid olika punkter under en viss period.Jämför de uppmätta värdena och kontrollera eventuella avvikelser.Om det finns några avvikelser, justera maskinens parametrar och upprepa testet.

Slutsats

Att montera, testa och kalibrera en maskinbas i granit för produkter för bearbetningsutrustning för wafer är en kritisk process som kräver tålamod, uppmärksamhet på detaljer och precision.Genom att följa dessa steg kan du säkerställa att maskinen uppfyller tillverkarens specifikationer och funktioner med noggrannhet, stabilitet och precision.

precisionsgranit03


Posttid: 2023-12-28