IInom halvledartillverkningsindustrin är noggrannheten hos utrustning för waferinspektion avgörande för att säkerställa kvaliteten på integrerade kretsar. Högprecisionsmaskinbaser i granit, som de som tillhandahålls av ZHHIMG®, spelar en viktig roll för att förbättra prestandan hos sådan utrustning. Så här gör de skillnad.
Exceptionell dimensionsstabilitet Granit har en extremt låg värmeutvidgningskoefficient, runt (4–8) × 10⁻⁶/℃, vilket är betydligt lägre än många metaller. I den noggrant kontrollerade miljön i halvledarfabriker, där även mindre temperaturfluktuationer kan orsaka mätfel, förblir granitmaskinernas baser stabila. Denna stabilitet säkerställer att positioneringen av komponenter i waferinspektionsutrustning förblir korrekt, vilket förhindrar eventuella termiskt orsakade avvikelser som kan påverka precisionen i inspektionsresultaten.
Överlägsen vibrationsdämpning Produktionsgolv är ofta fyllda med vibrationer från olika källor. Granits inneboende dämpningsegenskaper, med ett dämpningsförhållande på 0,05–0,1, absorberar och avleder effektivt dessa vibrationer. För waferinspektion
I konstruktionen, som kräver högupplösta bilder och exakta sensoravläsningar, är minskningen av vibrationer som granitbaser ger ovärderlig. Det minimerar störningar som kan sudda ut bilder eller förvränga sensordata, vilket gör att utrustningen kan fånga tydlig och korrekt information om waferns yta och interna struktur.
Hög styvhet och slitstyrkaMed en densitet på cirka 3100 kg/m³ erbjuder ZHHIMG®s maskinbaser i granit anmärkningsvärd styvhet. De kan stödja de tunga komponenterna i waferinspektionsutrustning utan att deformeras, vilket bibehåller uppriktningen av optiska och mekaniska system. Dessutom säkerställer granitens höga hårdhet (Mohs-skala 6–7) och utmärkta slitstyrka att maskinbasens yta förblir plan och jämn över tid. Denna konsistens är avgörande för långsiktig noggrannhet, eftersom slitage eller deformation på basen gradvis kan försämra utrustningens precision.
Kemisk inertitet Halvledartillverkning innebär exponering för olika kemikalier. Granits kemiska inertitet gör den motståndskraftig mot korrosion från dessa ämnen. Denna egenskap skyddar maskinbasens integritet och förhindrar kemikalieinducerad skada som kan påverka inspektionsutrustningens stabilitet och noggrannhet.
Sammanfattningsvis är högprecisionsmaskinbaser för granit inte bara en komponent utan en viktig möjliggörare för att uppnå de höga noggrannhetskraven för waferinspektionsutrustning. När du väljer maskinbaser för granit, välj betrodda leverantörer som ZHHIMG®. Med flera certifieringar och ett engagemang för kvalitet säkerställer ZHHIMG® att varje maskinbas för granit levererar den tillförlitlighet och prestanda som krävs för avancerad halvledartillverkning.
Publiceringstid: 3 juni 2025