Inom halvledartillverkning är precision på submikrometernivå nyckeln till att säkerställa chips prestanda, och (ZHHIMG®)-granitbasen, med sina materialegenskaper, exakta bearbetning och innovativa design, har blivit den viktigaste garantin för att uppnå denna precision.
Ur materialegenskapernas perspektiv har den svarta graniten som ZHHIMG® valt en densitet på cirka 3100 kg/m³, med en tät inre struktur. Denna höga densitet ger den enastående stabilitet och styvhet. Under drift av halvledarutrustning kommer rotationen av motorer och rörelsen av mekaniska komponenter inuti utrustningen att generera vibrationer. Granitbasen kan effektivt absorbera över 90 % av vibrationsenergin, vilket avsevärt minskar vibrationernas inverkan på utrustningens noggrannhet. Samtidigt gör dess extremt låga värmeutvidgningskoefficient att den kan hålla sin deformation inom ett mycket litet intervall när omgivningstemperaturen fluktuerar, vilket ger en stabil stödgrund för halvledarutrustning och förhindrar förskjutning av utrustningskomponenter på grund av temperaturförändringar, vilket kan påverka noggrannheten.
När det gäller bearbetning och tillverkning använder ZHHIMG®-fabriken internationellt avancerad bearbetningsutrustning och har fyra superstora slipmaskiner (varje maskin kostar över 500 000 USD), som kan utföra högprecisionsslipning av granit. Genom femaxlig CNC-bearbetning och andra processer kan maskinbasens planhet nå nanometernivå, vilket ger en ultraplan referensyta för installation av halvledarutrustning och säkerställer exakt positionering av varje komponent i utrustningen. Dessutom ger verkstaden med konstant temperatur och fuktighet (som täcker en yta på 10 000 kvadratmeter) en stabil miljö för bearbetningen. De 500 mm breda och 2000 mm djupa antivibrationsgravarna runt den, liksom de tysta kranarna, isolerar effektivt externa vibrationsstörningar och säkerställer maskinbasens bearbetningsnoggrannhet.
Dessutom har ZHHIMG® även en stark anpassningsförmåga. För de speciella kraven hos halvledarutrustning kan exakta installationshål och kabelrännor prefabriceras för att uppnå perfekt kompatibilitet mellan utrustningen och basen. Samtidigt, i kombination med mät- och testutrustning i världsklass, såsom den tyska Mahr-minutmätaren (med en noggrannhet på 0,5 µm) och den schweiziska elektroniska vattenpassaren WYLER, inspekteras och kalibreras maskinbasen noggrant för att säkerställa att varje maskinbas kan uppfylla de strikta kraven för halvledarutrustning för noggrannhet på submikronnivå.
Det är just kombinationen av dessa fördelar som gör ZHHIMG®-granitbasen till ett pålitligt val för att uppnå submikronprecision i halvledarutrustning, vilket hjälper halvledartillverkning att gå mot områden med högre precision.
Publiceringstid: 18 juni 2025