I halvledartillverkningsverkstaden är kraven på miljöförhållanden och utrustningens noggrannhet extrema i chiptillverkningsprocessen, och varje liten avvikelse kan leda till en betydande minskning av chiputbytet. XYZT:s precisionsportalrörelseplattform förlitar sig på granitkomponenter som samarbetar med andra delar av plattformen för att bygga en solid grund för att uppnå nanoskalig noggrannhet.
Utmärkta vibrationsblockerande egenskaper
I halvledartillverkningsverkstaden kan driften av kringutrustning och personal som går runt orsaka vibrationer. Granitkomponenternas interna struktur är tät och enhetlig, med naturliga höga dämpningsegenskaper, som en effektiv vibrations"barriär". När den externa vibrationen överförs till XYZT-plattformen kan granitkomponenten effektivt dämpa mer än 80 % av vibrationsenergin och minska vibrationernas störningar på plattformens rörelsenoggrannhet. Samtidigt är plattformen utrustad med ett högprecisionsluftstyrningssystem, som fungerar tillsammans med granitkomponenterna. Luftstyrningen använder den stabila gasfilmen som bildas av högtrycksgas för att realisera den kontaktlösa upphängningsrörelsen hos plattformens rörliga delar och minska de små vibrationerna som orsakas av mekanisk friktion. Tillsammans säkerställer de två att plattformens positioneringsnoggrannhet alltid bibehålls på nanometernivå i viktiga processer som chiplitografi och etsning, och undviker avvikelser i chipkretsmönster orsakade av vibrationer.
Utmärkt termisk stabilitet
Temperatur- och fuktighetsfluktuationerna i verkstaden har stor inverkan på noggrannheten hos chiptillverkningsutrustningen. Granitens värmeutvidgningskoefficient är mycket låg, vanligtvis 5-7 × 10⁻⁶/℃, och storleken förblir nästan oförändrad när temperaturen ändras. Även om temperaturskillnaden mellan dag och natt i verkstaden eller utrustningens värmeproduktion orsakar fluktuationer i omgivningstemperaturen, kan granitkomponenterna förbli stabila för att förhindra deformation av plattformen på grund av termisk expansion och kontraktion. Samtidigt övervakar det intelligenta temperaturkontrollsystemet som är utrustat med plattformen omgivningstemperaturen i realtid, justerar automatiskt luftkonditioneringen och värmeavledningsutrustningen och håller verkstadstemperaturen vid 20 °C ± 1 °C. Kombinerat med fördelarna med granitens värmestabilitet säkerställs att plattformen under långvarig drift alltid uppfyller chiptillverkningens nanometerprecisionsstandarder, för att säkerställa att chipets litografimönsterstorlek är korrekt och etsningsdjupet är enhetligt.
Möt behoven av en ren miljö
Halvledartillverkningsverkstaden måste upprätthålla en hög grad av renlighet för att förhindra att dammpartiklar kontaminerar chipet. Granitmaterialet i sig producerar inte damm, och ytan är slät och absorberar inte damm lätt. Plattformen som helhet har en helt sluten eller halvsluten strukturdesign för att minska inträngningen av externt damm. Det interna luftcirkulationssystemet är kopplat till verkstadens rena luftkonditioneringssystem för att säkerställa att den interna luftrenheten når den nivå som krävs för chiptillverkning. I denna rena miljö kommer granitkomponenter inte att påverka prestandan på grund av dammerosion, och nyckelkomponenter som högprecisionssensorer och motorer i plattformen kan också fungera stabilt, vilket ger kontinuerlig och pålitlig garanti för nanoskalig noggrannhet för chiptillverkning och hjälper halvledarindustrin att gå till en högre processnivå.
Publiceringstid: 14 april 2025