Inom halvledartillverkning är fotolitografimaskinen en viktig anordning som bestämmer chips precision, och granitbasen, med sina många egenskaper, har blivit en oumbärlig komponent i fotolitografimaskinen.
Termisk stabilitet: "Skölden" mot temperaturförändringar
När en fotolitografimaskin är i drift genererar den en stor mängd värme. Även en temperaturfluktuation på endast 0,1 ℃ kan orsaka deformation av utrustningens komponenter och påverka fotolitografins noggrannhet. Granitens värmeutvidgningskoefficient är extremt låg, endast 4-8 × 10⁻⁶/℃, vilket är ungefär 1/3 av stålets och 1/5 av aluminiumlegeringens. Detta gör att granitbasen bibehåller dimensionsstabilitet när fotolitografimaskinen är i drift under lång tid eller när omgivningstemperaturen förändras, vilket säkerställer exakt positionering av optiska komponenter och mekaniska strukturer.
Super antivibrationsprestanda: "Svampen" som absorberar vibrationer
I en halvledarfabrik kan driften av omgivande utrustning och människors rörelser generera vibrationer. Granit har en hög densitet och en hård textur, och den har utmärkta dämpningsegenskaper, med ett dämpningsförhållande som är 2 till 5 gånger högre än metaller. När externa vibrationer överförs till granitbasen omvandlar friktionen mellan de inre mineralkristallerna vibrationsenergin till värmeenergi för avledning, vilket kan minska vibrationerna avsevärt på kort tid, vilket gör att fotolitografimaskinen snabbt kan återställa stabiliteten och undvika suddig eller felaktig inriktning av fotolitografimönstret på grund av vibrationer.
Kemisk stabilitet: "Väktaren" av en ren miljö
Insidan av en fotolitografimaskin kommer i kontakt med olika kemiska medier, och vanliga metallmaterial är benägna att korrosionera eller frigöra partiklar. Granit består av mineraler som kvarts och fältspat. Den har stabila kemiska egenskaper och stark korrosionsbeständighet. Efter att ha blötlagts i syra- och alkalilösningar är ytkorrosionen extremt liten. Samtidigt genererar dess täta struktur nästan inget skräp eller damm, vilket uppfyller kraven i de högsta renrumsstandarderna och minskar risken för waferkontaminering.
Bearbetningsanpassningsförmåga: Det "ideala materialet" för att skapa exakta riktmärken
Kärnkomponenterna i fotolitografimaskinen måste installeras på en högprecisionsreferensyta. Granitens inre struktur är enhetlig och den är lätt att bearbeta med extremt hög precision genom slipning, polering och andra tekniker. Dess planhet kan nå ≤0,5 μm/m, och ytjämnheten Ra är ≤0,05 μm, vilket ger en exakt installationsgrund för komponenter som optiska linser.
Lång livslängd och underhållsfri: De "vassa verktygen" för kostnadsbesparingar
Jämfört med metallmaterial som är benägna att utmattas och spricka vid långvarig användning, genomgår granit knappast plastisk deformation eller brott under normala belastningar, och den kräver inte ytbehandling, vilket undviker risken för beläggningsflagning och kontaminering. I praktiska tillämpningar, efter att ha använts i många år, kan nyckelprestandaindikatorerna för granitbasen fortfarande förbli stabila, vilket minskar drifts- och underhållskostnaderna för utrustningen.
Från termisk stabilitet och vibrationstålighet till kemisk inertitet uppfyller granitbasens många egenskaper perfekt kraven för fotolitografimaskinen. I takt med att chiptillverkningsprocessen fortsätter att utvecklas mot högre precision kommer granitbaser att fortsätta spela en oersättlig roll inom halvledartillverkning.
Publiceringstid: 20 maj 2025