Inom avancerad tillverkning och banbrytande vetenskaplig forskning har luftflottörens ultraprecisionsrörelsemodul blivit en viktig utrustning för finjustering och mätning med sin utmärkta precisionsprestanda. Granitprecisionsbasen, som stödkärna, har strikta krav på arbetsmiljön, och lämpliga miljöförhållanden är grunden för att säkerställa dess stabila prestanda och bästa effekt.
Först, temperaturkontroll: precisions"stabilisator"
Även om granit är känt för sin stabilitet är det inte helt immunt mot temperaturförändringar. Även om dess värmeutvidgningskoefficient är låg, vanligtvis 5-7 × 10⁻⁶/℃, kan subtila temperaturfluktuationer i ultraprecisionsrörelsestyrningsscenarier fortfarande orsaka dimensionsförändringar och påverka modulens noggrannhet. I halvledarchipstillverkningsverkstaden kräver litografiprocessen en positioneringsnoggrannhet på danaminivå, och omgivningstemperaturen fluktuerar med 1 °C, och granitbasen med en sidlängd på 1 meter kan producera en linjär expansion eller kontraktion på 5-7 mikron. Denna lilla förändring överförs av ultraprecisionsrörelsemodulen i luftflottören, vilket är tillräckligt för att göra att chipets litografimönster avviker och kraftigt minskar utbytet. Därför, utrustad med en precisionsbas av granit för den luftflytande ultraprecisionsrörelsemodulen, bör den ideala arbetsmiljötemperaturen kontrolleras vid 20 °C ± 1 °C. Med hjälp av högprecisionsutrustning med konstant temperatur, såsom luftkonditioneringssystem med konstant temperatur och luftfuktighet, bör den kontinuerliga övervakningen och justeringen av omgivningstemperaturen säkerställas att temperaturfluktuationerna sker inom ett mycket litet område, basstorleken bibehålls och modulens högprecisionsdrift säkerställs.
För det andra, fuktighetshantering: nyckeln till fuktsäkert skydd "sten"
Fuktighet är en annan viktig faktor som påverkar prestandan hos precisionsgranitbasen. I en miljö med hög luftfuktighet absorberar granit lätt vattenånga, vilket kan leda till kondens på ytan, vilket inte bara påverkar granitens stabilitet och ultraprecisionsrörelsemodulen på luftflötet, utan också kan orsaka yterosion och minska glans och noggrannhet på lång sikt. Om luftfuktigheten i verkstaden för optisk linslipning är högre än 60 % RF under en längre tid, kommer vattenångan som adsorberas på ytan av granitbasen att störa gasflötets glidreglage, så att linsens slipningsnoggrannhet minskar och ytan blir defekt. Därför bör den relativa fuktigheten i arbetsmiljön kontrolleras strikt mellan 40 % och 60 % RF, vilket kan övervakas och justeras i realtid genom att installera avfuktare, fuktighetssensorer och annan utrustning för att undvika skador på granitbasen på grund av hög luftfuktighet och säkerställa en smidig drift av ultraprecisionsrörelsemodulen på luftflötet.
För det tredje, renlighetsgaranti: precisionens "väktare"
Skadorna av dammpartiklar på precisionsgranitbasen i ultraprecisionsrörelsemodulen för luftflotation kan inte underskattas. När de små partiklarna kommer in i gasfilmsgapet mellan gasflottörens slid och granitbasen kan de förstöra gasfilmens jämnhet, öka friktionen och till och med repa basens yta, vilket resulterar i minskad rörelsenoggrannhet. I ultraprecisionsbearbetningsverkstaden för flyg- och rymdkomponenter kan dammpartiklar från luften falla på granitbasen, vilket påverkar delarnas bearbetningsnoggrannhet. Därför bör arbetsområdet hållas mycket rent och uppnå renhetsstandarder på 10 000 eller högre, genom installation av luftreningsutrustning, såsom högeffektiva luftfilter (HEPA), som filtrerar bort dammpartiklar i luften. Samtidigt måste personalen bära dammfria kläder, skoskydd etc. för att minska damm som medförs av människor. Bibehåll en högprecisionsdriftmiljö för granitbasen och ultraprecisionsrörelsemodulen för luftflottören.
Fyra, vibrationsisolering: smidig drift av "stötdämparen"
Externa vibrationer är en fiende för precisionen hos ultraprecisionsrörelsemodulen i luftflottören. Även om precisionsbasen i granit har en viss vibrationsdämpningsförmåga, kan den höga vibrationen fortfarande bryta dess buffertgräns. Vibrationerna som genereras av trafiken runt fabriken och driften av stor mekanisk utrustning överförs till granitbasen via marken, vilket kommer att störa rörelsenoggrannheten hos ultraprecisionsrörelsemodulen i luftflottören. I avancerade CMM:er kan vibrationer göra att kontakten mellan mätsonden och arbetsstycket som ska mätas blir instabil, vilket resulterar i avvikelser i mätdata. För att lösa detta problem är det nödvändigt att vidta effektiva vibrationsisoleringsåtgärder, såsom att lägga vibrationsisoleringsplattor i utrustningens installationsområde, bygga en vibrationsisoleringsfundament eller använda ett aktivt vibrationsisoleringssystem för att aktivt kompensera för extern vibration och skapa en tyst och stabil arbetsmiljö för granitprecisionsbasen och ultraprecisionsrörelsemodulen i luftflottören.
Endast genom att fullt ut uppfylla miljökraven för temperatur, fuktighet, renlighet och vibrationskontroll kan granitprecisionsbasen i luftflottörens ultraprecisionsrörelsemodul utnyttja sina prestandafördelar fullt ut, ge tillförlitlig garanti för ultraprecisionsoperationer inom olika områden och hjälpa industrin att gå mot en högre precisionstillverknings- och vetenskaplig forskningsnivå.
Publiceringstid: 8 april 2025