Inom precisionstillverkning och vetenskaplig forskning är planheten hos precisionsplattformar i granit en viktig indikator för att säkerställa utrustningens noggrannhet. Följande är en detaljerad introduktion till flera vanliga detekteringsmetoder och deras driftsprocedurer.
I. Detektionsmetod för laserinterferometer
Laserinterferometern är det föredragna verktyget för högprecisionsdetektering av planhet. Ta ZYGO GPI XP-laserinterferometern som exempel, dess upplösning kan nå 0,1 nm. När detekteringen utförs, rikta först in interferometerns ljuskälla med plattformen och dela upp plattformsytan i 50 mm × 50 mm rutnätsområden. Därefter samlades interferensfransdata in punkt för punkt, och data anpassades och analyserades med Zernike-polynomet för att erhålla planhetsfelet. Denna metod är tillämplig på högprecisionsplattformar och kan detektera planhetsfel på ≤0,5 μm/m². Den används ofta vid detektering av fotolitografimaskiner och avancerade plattformar för trekoordinatsmätmaskiner.
Ii. Elektronisk nivåmatrismetod
Den elektroniska nivåmatrisdetekteringen är enkel att använda och mycket effektiv. Den elektroniska nivåmatrisen TESA A2 (med en upplösning på 0,01 μm/m) valdes och arrangerades i en 9×9-matris längs plattformens X/Y-axelriktning. Genom att synkront samla in lutningsdata för varje nivå och sedan använda minstakvadratmetoden för beräkning kan planhetsvärdet erhållas noggrant. Denna metod kan effektivt identifiera plattformens lokala konkavitets- och konvexitetsförhållanden. Till exempel kan en fluktuation på 0,2 μm inom ett 50 mm-område också detekteras, vilket är lämpligt för snabb detektion vid massproduktion.
III. Optisk plattkristallmetod
Den optiska plattkristallmetoden är lämplig för detektering av plattformar med liten yta. Fäst den optiska plattkristallen tätt mot ytan som ska testas på plattformen och observera interferensfransarna som bildas mellan dem under belysning av en monokromatisk ljuskälla (t.ex. en natriumlampa). Om ränderna är parallella raka ränder indikerar det god planhet. Om böjda ränder uppträder, beräkna planhetsfelet baserat på graden av rändens krökning. Varje böjd rand representerar en höjdskillnad på 0,316 μm, och planhetsdata kan erhållas genom enkel omvandling.
Fyra. Inspektionsmetod för trekoordinatmätmaskin
Trekoordinatmätmaskinen kan uppnå högprecisionsmätningar i tredimensionellt utrymme. Placera granitplattformen på mätmaskinens arbetsbord och använd sonden för att enhetligt samla in data från flera mätpunkter på plattformens yta. Mätmaskinens system bearbetar och analyserar dessa data för att generera en planhetsrapport för plattformen. Denna metod kan inte bara detektera planhet, utan även erhålla andra geometriska parametrar för plattformen samtidigt, och är lämplig för omfattande detektion av stora granitplattformar.
Att behärska dessa detekteringsmetoder kan hjälpa dig att noggrant bedöma planheten hos granitprecisionsplattformen och ge en tillförlitlig garanti för stabil drift av precisionsutrustning.
Publiceringstid: 29 maj 2025