Ultraprecisionsbas i granit för waferinspektion och mätteknik

1. Överlägsen materialvetenskap: ZHHIMG® svart granit

Till skillnad från vanlig granit eller, ännu värre, marmor av lägre kvalitet som används av mindre noggranna tillverkare, är ZHHIMG-baser tillverkade uteslutande av vår egenutvecklade ZHHIMG® Black Granite.

● Exceptionell densitet: Vårt material har en imponerande densitet på ≈ 3100 kg/m³, vilket är överlägset många konventionella svarta graniter från Europa och Amerika.

● Termisk stabilitet: Den höga densiteten och minimala vattenabsorptionen säkerställer överlägsen dimensionsstabilitet, vilket drastiskt minskar effekten av termisk drift under kritiska inspektionscykler.

● Vibrationsdämpning: Den naturliga mineralstrukturen ger enastående intern dämpning, vilket är avgörande för att isolera känslig optik och sensorer från externa vibrationer.

2. Oöverträffad tillverknings- och monteringsförmåga

Vårt engagemang för precision sammanfattas i vår kärntro: "Precisionsbranschen får inte vara för krävande."

● Mästerhantverk: Våra underlag är handslipade av mästertekniker, många med över 30 års erfarenhet, som kan uppnå ytjämnhet och parallellitet ner till nanometernivå – precision verifierad av Renishaw laserinterferometrar och WYLER elektroniska vattenpass.

● Kontrollerad miljö: Bearbetning och slutmontering utförs i vårt 10 000 m² stora temperatur- och fuktighetskontrollerade renrum (som simulerar strikta förhållanden i halvledarfabriken). Denna anläggning har en 1000 mm tjock betongfundament och 2000 mm djupa vibrationsdämpande schakt, vilket säkerställer en verkligt stabil mätmiljö.

3. Integrerad precisionsdesign (som visas på bilden)

Basen tillhandahålls vanligtvis som en komplex enhet, ofta inklusive:

● L-formade/portalstrukturer: Utformade för att stödja den vertikala rörelsen (Z-axeln) hos bildhuvudena, vilket säkerställer ortogonalitet och geometrisk noggrannhet.

● Precisionsspår och -insatser: Förbearbetade ytor med gängade stålinsatser och precisionshål för montering av luftlager, linjärmotorer (XY-bord), visionssystem och styrskenor (THK, HIWIN, Rexroth).

● Anpassning: Vi specialiserar oss på storskalig bearbetning och kan leverera monolitiska granitfundament upp till 20 m långa och 100 ton tunga, exakt anpassade till din utrustningsstorlek.