Halvledarindustrin arbetar med en precisionsnivå som tänjer på gränserna för mänsklig uppfinningsrikedom. I hjärtat av denna industris kvalitetskontroll – det sista, kritiska steget innan ett chip anses redo för marknaden – ligger ett till synes enkelt material: granit. Mer specifikt är precisionsgranitplattformar den självklara lösningen för inspektion av halvledarchip, ett faktum som kan överraska de som inte är verksamma inom området. På ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) förstår vi detta förhållande ingående. Vår expertis inom att tillverka ultrahögprecisionskomponenter och mätverktyg i granit har gjort oss till en viktig partner till några av världens ledande halvledar- och mätteknikföretag. Beroendet av granit för denna kritiska tillämpning är inte en fråga om tradition utan om ren fysik och ingenjörskonst. Det handlar om att uppfylla en uppsättning unika och krävande krav som inget annat material kan uppfylla lika effektivt.
Det orubbliga kravet på stabilitet
Inspektion av halvledarchip handlar inte bara om att kontrollera defekter; det handlar om att verifiera att mikroskopiska egenskaper, ofta mätta i nanometer, är perfekt utformade. Denna process involverar sofistikerad utrustning, såsom optiska inspektionssystem (AOI) och industriella CT-skannrar, som måste förbli helt stabila under en skanning. Vibrationer, termisk expansion eller strukturell avvikelse kan introducera fel, vilket leder till falska positiva resultat eller, ännu värre, missade defekter.
Det är här granit glänser. Till skillnad från metall, som expanderar och krymper avsevärt med temperaturförändringar, har granit en otroligt låg värmeutvidgningskoefficient. Vår ZHHIMG® Black Granite har en densitet på cirka 3100 kg/m3, vilket ger exceptionell termisk stabilitet. Det innebär att en granitplattform behåller sin form och planhet även i miljöer där omgivningstemperaturen fluktuerar något. I en klimatkontrollerad verkstad som vår 10 000 m2 stora anläggning, där temperaturen upprätthålls med militär precision, är granitens stabilitet oöverträffad.
Dessutom är granitens överlägsna dämpningsegenskaper avgörande. Den absorberar och avleder mekaniska vibrationer naturligt, vilket förhindrar att de överförs till den känsliga inspektionsutrustningen. I en hektisk tillverkningsanläggning fylld med maskiner är denna vibrationsdämpning avgörande för att bibehålla mätningens integritet. Våra verkstäder är utformade med detta i åtanke, med ultratjocka betonggolv och vibrationsdämpande diken för att skapa en miljö där våra hantverkare kan uppnå precision på nanometernivå i sitt arbete.
Jakten på absolut planhet
För att ett chipinspektionssystem ska fungera måste dess bas vara så nära perfekt plan som möjligt. Begreppet "plan yta" i detta sammanhang är inte visuellt utan matematiskt, mätt med instrument som Renishaw laserinterferometrar och schweiziska Wyler elektroniska vattenpass. En chipinspektörs mål är att mäta ett chip planhet med några få mikrometer, eller till och med nanometer. För att göra detta måste själva plattformen vara flera storleksordningar planare.
Granit är ett material som, genom våra specialiserade handslipningstekniker, kan slipas till en planhet som är praktiskt taget oöverträffad. Våra hantverksmästare, av vilka många har över 30 års erfarenhet, besitter en taktil känsla som gör att de kan "känna" en planhetsavvikelse på bara några få mikrometer. Denna mänskliga beröring, i kombination med vår utrustning i världsklass, gör att vi kan producera granitytplattor med nanometernivåplanhet, vilket gör dem till det perfekta referensplanet för kalibrering och inspektion. Detta är grunden för noggrann halvledarinspektion.
Att möta unika krav från halvledarindustrin
Halvledarindustrin har också specifika behov utöver stabilitet och planhet. Till exempel använder många inspektionssystem luftlager för friktionsfri rörelse. Granit är ett utmärkt medium för luftlagerstyrningar på grund av dess inneboende styvhet och en porositet som möjliggör ett fint, jämnt luftflöde. Våra granitluftlager är specialbearbetade för att säkerställa jämn och exakt rörelse, vilket är avgörande för höghastighets- och noggrannhetsinspektion.
Dessutom är vår ZHHIMG® Black Granite icke-magnetisk och icke-ledande, vilket är avgörande för känsliga elektroniska komponenter. Den stör inte de elektromagnetiska fälten från testutrustningen eller själva chipet. Denna neutralitet är en egenskap som många metallplattformar helt enkelt inte kan erbjuda.
På ZHHIMG® säljer vi inte bara granit. Vi tillhandahåller en viktig grund för världens mest avancerade teknik. Vårt kundlöfte är att tillhandahålla lösningar som är utan fusk, utan döljning och utan vilseledande. Vi arbetar nära våra partners, inklusive jättar som Samsung och mätinstitut, för att säkerställa att våra produkter inte bara uppfyller deras specifikationer utan också bidrar till utvecklingen av deras teknik. I den krävande halvledartillverkningens spel är ZHHIMG®s precisionsplattformar för granit en tyst, orörlig kraft som ger den stabilitet och noggrannhet som väcker morgondagens innovationer till liv.
Publiceringstid: 28 sep-2025