I den exakta kedjan av halvledartillverkning är waferöverföringssystemet som "livlinan för chipproduktionslinjen", och dess stabilitet och noggrannhet avgör direkt chipens utbyteshastighet. Den nya generationen waferöverföringssystem kombinerar revolutionerande linjära motorer med granitbaser, och de unika fördelarna med granitmaterial är just kärnkoden för att låsa upp högpresterande överföring.
Granitbas: Bygga en "stenfast grund" för stabil överföring
Granit, som har genomgått hundratals miljoner år av geologisk förfining, har en tät och enhetlig inre mineralkristallisation. Denna naturliga egenskap gör den till ett idealiskt basmaterial för waferöverföringssystem. I den komplexa miljön i halvledarrenrum kan granit, med sin ultralåga värmeutvidgningskoefficient (endast 5–7 × 10⁻⁶/℃), motstå värmen som genereras under utrustningens drift och påverkan av omgivningstemperaturförändringar, vilket säkerställer stabiliteten hos basstorleken och undviker avvikelser i överföringsvägen orsakade av termisk deformation. Dess enastående vibrationsdämpande prestanda kan snabbt absorbera de mekaniska vibrationer som genereras under start, avstängning och acceleration av linjära motorer, såväl som de externa störningar som orsakas av driften av annan utrustning i verkstaden, vilket ger en stabil plattform med "noll skakning" för waferöverföring.
Samtidigt säkerställer granitens kemiska stabilitet att den inte korroderar eller rostar i halvledarverkstäder där syra- och alkalireagens är flyktiga och hög renhet krävs, vilket undviker påverkan på överföringsnoggrannheten på grund av materialåldring eller adsorption av föroreningar. De släta och täta ytegenskaperna kan mer effektivt minska dammvidhäftning, vilket uppfyller de strikta dammfria standarderna för renrum och eliminerar risken för waferkontaminering från roten.
Den "gyllene partnerskapseffekten" mellan linjärmotorer och granit
Linjärmotorer, med sina egenskaper som inget mekaniskt transmissionsspel, hög acceleration och hög responshastighet, ger wafertransmissionen fördelarna "snabb, exakt och stabil". Granitbasen ger en solid och pålitlig stödplattform för den. De två arbetar tillsammans för att uppnå ett prestandasprång. När linjärmotorn driver waferbäraren att köras på granitbasspåret, säkerställer basens starka styvhet och stabilitet effektiv överföring av motorns drivkraft, vilket undviker kraftförlust eller transmissionsfördröjning orsakad av basdeformation.
Drivet av kravet på precision på nanoskala kan linjärmotorer uppnå förskjutningskontroll på submikronnivå. Granitbasernas högprecisionsegenskaper (med planhetsfel kontrollerade inom ±1 μm) matchar perfekt den exakta styrningen av linjärmotorer, vilket tillsammans säkerställer att positioneringsfelet under waferöverföring är mindre än ±5 μm. Oavsett om det gäller höghastighetsväxling mellan olika processutrustningar eller exakt parkering för waferöverlämning, kan kombinationen av linjärmotorer och granitbaser säkerställa "noll avvikelse och noll jitter" vid waferöverföring.
Verifiering av branschpraxis: Dubbel förbättring av effektivitet och avkastningsgrad
Efter att ha uppgraderat sitt waferöverföringssystem antog ett ledande globalt halvledarföretag en lösning med linjärmotor och granitbas, vilket ökade waferöverföringseffektiviteten med 40 %, minskade förekomsten av fel som kollisioner och förskjutningar under överföringsprocessen med 85 % och förbättrade den totala chiputbytet med 6 %. Bakom dessa data ligger garantin för överföringsstabilitet som tillhandahålls av granitbasen och den höga hastigheten och precisa synergieffekten hos linjärmotorn, vilket avsevärt minskar förluster och fel i waferöverföringsprocessen.
Från materialegenskaper till precisionstillverkning, från prestandafördelar till praktisk verifiering, har kombinationen av linjära motorer och granitbaser omdefinierat standarderna för waferöverföringssystem. I framtiden, när halvledartekniken utvecklas mot 3nm- och 2nm-processer, kommer granitmaterial säkerligen att fortsätta att ge stark drivkraft åt branschens utveckling med sina oersättliga fördelar.
Publiceringstid: 14 maj 2025